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电子厂净化车间
无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。在乱流洁净室中,由于送风方式的局限性,一些地方如房间的四个角落形成涡流,有些地方很难通过室内气流组织得到净化处理。无尘车间由于涡流区的存在,而同时又有尘源,将对房间洁净度产生很大的影响。在乱流洁净室中,由于送风方式
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1、净化原理

 

 

    气流→初、中效净化→空调→风机送风→高效净化风口→吹入房间→回风百叶风口→带走尘埃等颗粒→重复以上过程,即可达到净化目的。

    净化参数
    换气次数:100K级≧25次;10K级≧35次;1K≧45次。压差:主无尘室对相邻房间≧5Pa

 

 

2、无尘室的分类

 

 

    无尘室依等级的不同而在气流设计上面有所区别,一般可分为垂直层流方式(Class1-100)、水平层流方式(Class1-1,000)、乱流方式(Class1,000-100,000),其详细区分如下表:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

气流方式 

 

 

洁净度 

 

 

风速
(/s) 

 

 

换气次数(次/h) 

 

 

吹入口、吸入口 

 

 

优点 

 

 

缺点 

 

 

价格比 

 

 

垂直层流方式 

 

 

Class1
-
100

 

 

0.25
-
0.40

 

 

200
-
600

 

 

吹出:天花板的80%以上。 
吸入:壁板的40%以上,从侧面板亦可。 

 

 

效果完全 
不易被作业人员及作业状态所影响 
开始运转后即刻变为稳定状态 
粉尘的堆积及再漂浮极少 
管理容易 

 

 

需注意天花板部的无效空间(照明等) 
换过滤器教麻烦 
设备费非常高 
房屋的扩充较困难 

 

 

100

 

 

水平层流方式 

 

 

Class1

 

 

0.45
-
0.50

 

 

200
-
600

 

 

吹出:壁板的80%以上。 
吸入:壁板的40%以上,从天花板亦可。 

 

 

运转开始后即刻变为稳定状态构造简单 

 

 

上游的影响会在下游出现 
人员及机器的配置及管理须注意 
设备费非常高 
房屋的扩充较困难 

 

 

50-80

 

 

Class1,000

 

 

—— 

 

 

100
-
200

 

 

30-50

 

 

乱流方式(传统式) 

 

 

Class1,000
-
100,000

 

 

—— 

 

 

30
-
60

 

 

吹出:过滤器吹出口较好。 
吸入:从地板附近。 

 

 

构造简单 
设备费低 
房屋的扩充比较容易 
若再加用无尘台可确保高洁净度 

 

 

由于气流的乱流污染粒子有可能在室内循环 
到稳定状态须花一段时间 
人员及机器的配置及管理须注意 

 

 

10-40

 

 

 

 

 

 

3、无尘室四原则

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


4、无尘室示意图

 

 

 

 

 

规划设计

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